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真空探針熱臺可采用螺旋定位法找尋位置中心

更新時間:2021-05-14點擊次數(shù):1391
   真空探針熱臺能方便、準確、快速地找到放置在安裝臺上的樣品上所需要測試點,比如三極管的基區(qū)、發(fā)射區(qū)等,將探針臺上的探針和測試點可靠接觸,將配套測試儀器上設(shè)置的測試條件通過探針加到被測試管芯上,實現(xiàn)對管芯參數(shù)測試的目的。在半導(dǎo)體芯片的生產(chǎn)和研制過程中,需要對芯片樣品的各項參數(shù)進行過程測試和終端測試,完成測試所需的測試對準設(shè)備是探針臺。
  真空探針熱臺探針臺希望在上片后無需人工對準,就能從晶圓的一個晶粒(一點)開始檢測,晶圓上片后,探針下方的開始位置往往并不是一點;為了讓一點快速的移至探針下方,對平臺的運行軌跡進行了調(diào)整,螺旋定位法可以以平臺上開始位置為中心。
  螺旋式步進運行,配合鏡頭的圖像識別技術(shù),一步一識別,逐步擴大范圍,直至在鏡頭視野中找到晶圓中的特殊晶粒(特殊點);由于一點與特殊點的位置相對固定,所以找到了特殊點即找到了一點。螺旋定位法能快速移至探針正下方且長時間運行穩(wěn)定;此自動定位方法不僅節(jié)省了人力成本,提高了定位精度,又大大地提升了探針臺的工作效率。
  在現(xiàn)有技術(shù)中,真空探針熱臺中的安裝臺與探針兩者是相對固定的,在樣品參數(shù)測試時,通過調(diào)節(jié)探針座的位置,以調(diào)節(jié)探針相對于安裝臺的位置,讓探針與樣品的測試點分離或接觸,或者在樣品參數(shù)測試時,通過驅(qū)動組件帶動支撐件作上下移動,實現(xiàn)支撐件上的探針與安裝臺兩者相對位置的調(diào)節(jié),以使探針與樣品的測試點快速分離或接觸,該操作過程方便,效率高。
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